Teilchenstrahlinduzierte Prozesse an dielektrischen Oberflächen
V. Rupertus, U. Rothhaar, P. Köpfer, A. Lorenz, H. OechsnerVolume:
5
Year:
1993
Language:
german
Pages:
10
DOI:
10.1002/vipr.19930050310
File:
PDF, 1.08 MB
german, 1993