Einfluß der Behandlungstemperatur beim plasmaunterstützten...

Vakuum in Forschung und Praxis 1999 Vol. 11; Iss. 2

Einfluß der Behandlungstemperatur beim plasmaunterstützten Gasphasenborieren mittels BCl3

Emilio Rodríguez Cabeo, Günther Laudien, Swen Biemer, Kyong-Tschong Rie, Steffen Hoppe, Michael Frick
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Volume:
11
Year:
1999
Language:
german
Pages:
4
DOI:
10.1002/vipr.19990110208
File:
PDF, 485 KB
german, 1999
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