Funktionalisierung der Oberfläche von Mikrostrukturen –...

Vakuum in Forschung und Praxis 2005 Vol. 17; Iss. 3

Funktionalisierung der Oberfläche von Mikrostrukturen – Technologie und Anwendungen –. Functionalization of Microstructure Surfaces

Holger Reinicke, Oliver Lipold, Andreas Ohl, Wilfried Besch, Carsten Schröder, Friedrich Götz
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Volume:
17
Year:
2005
Pages:
5
DOI:
10.1002/vipr.200500254
File:
PDF, 277 KB
2005
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