Optische und mechanische Eigenschaften von RLVIP HfO2-Schichten
Andrea Kunz, Antje Hallbauer, Daniel Huber, Hans K. PulkerVolume:
18
Year:
2006
Language:
german
Pages:
5
DOI:
10.1002/vipr.200600301
File:
PDF, 212 KB
german, 2006