Einfluss der HiPIMS-Parameter beim PVD-Verfahren :...

Vakuum in Forschung und Praxis 2010 Vol. 22; Iss. 4

Einfluss der HiPIMS-Parameter beim PVD-Verfahren : Untersuchung der strukturellen Eigenschaften von CrN-Schichten

Elena Maja Slomski, Herbert Scheerer, Torsten Troßmann, Christina Berger
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Volume:
22
Year:
2010
Language:
german
Pages:
4
DOI:
10.1002/vipr.201000428
File:
PDF, 448 KB
german, 2010
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