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PECVD mit der Bandhohlkathode : Potenzial für Hochrate-Beschichtung von Stahlband
Krasimir Nikolov, Bernd Schuhmacher, Thomas Jung, Claus-Peter KlagesVolume:
23
Year:
2011
Language:
german
Pages:
7
DOI:
10.1002/vipr.201100451
File:
PDF, 626 KB
german, 2011