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Anwendung der Ionenstrahl- und Plasmaätztechnik in der elektronischen Feinstrukturierung und ihre analytische Problematik anhand praktischer Erfahrungen
Konrad Fischer, Dewey Frank Bazarre, Guido Bell, Berthold Kegel, Gerhard LiebelVolume:
314
Year:
1983
Language:
german
Pages:
4
DOI:
10.1007/bf00516822
File:
PDF, 838 KB
german, 1983