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Untersuchung der durch Metallspuren verursachten Störstellen in Si-Epitaxieschichten
Dr. Teréz Kormány, Dr. Lajos Vecsernyés, Miklós Vértesy, Erna JutasimVolume:
6
Year:
1971
Language:
german
Pages:
10
DOI:
10.1002/crat.19710060213
File:
PDF, 624 KB
german, 1971