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Eine Elektronenstrahltechnologie zur Herstellung dünner Schichten hoher Reinheit
Dr. E. Seidowski, Dipl.- Ing. V. L. Laska, Doz. Dr. V. P. Ledovskoj, Dipl.- Ing. H. M. Leont'eva, Doz. Dr. M. TierokVolume:
11
Year:
1976
Language:
german
Pages:
7
DOI:
10.1002/crat.19760111205
File:
PDF, 455 KB
german, 1976