Zur Beeinflussung mikrostruktureller Verformungsprozesse an Siliziumoberflächen durch den Dotierungstyp
Dr. H. Richter, Dipl.-Min. H.-D. BrockeVolume:
13
Year:
1978
Language:
german
Pages:
4
DOI:
10.1002/crat.19780131108
File:
PDF, 210 KB
german, 1978