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Zur Bestimmung des Zerstäubungskoeffizienten bei der Ionenätzung
Dr. G. I. Mamaev, Dr. E. Seidowski, Doz. Dr. V. P. LedovskojVolume:
14
Year:
1979
Language:
german
Pages:
8
DOI:
10.1002/crat.19790140811
File:
PDF, 417 KB
german, 1979