Dépôt de Cr à basse température par MOCVD: inhibition de l'incorporation du carbone
F. Maury, S. Abisset, L. Pelletier, L. Lagarde, L. Gueroudji, C. Vahlas, A. ReynesVolume:
23
Year:
1998
Pages:
13
DOI:
10.1016/s0151-9107(99)80016-6
File:
PDF, 1.04 MB
1998