Dépôt de Cr à basse température par MOCVD: inhibition de...

Dépôt de Cr à basse température par MOCVD: inhibition de l'incorporation du carbone

F. Maury, S. Abisset, L. Pelletier, L. Lagarde, L. Gueroudji, C. Vahlas, A. Reynes
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Volume:
23
Year:
1998
Pages:
13
DOI:
10.1016/s0151-9107(99)80016-6
File:
PDF, 1.04 MB
1998
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