Numerical Analysis and Optimization of Power Coupling Efficiency in Waveguide-Based Microwave Plasma Source
Nowakowska, H., Jasinski, M., Debicki, P.S., Mizeraczyk, J.Том:
39
Рік:
2011
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1109/tps.2011.2163531
Файл:
PDF, 798 KB
english, 2011