Etude des propriétés microlithographiques d'une résine siliciée renfermant en mélange le poly(p-triméthylsiloxystyrène) et le sel (C6H5)3SAsF6
Frédéric Bonfils, Louis Giral, Claude Montginoul, René Sagnes, François SchuéVolume:
193
Year:
1992
Pages:
10
DOI:
10.1002/macp.1992.021930605
File:
PDF, 721 KB
1992