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Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern
Herr. Dr.-Ing. G. Berg, Chr. Friedrich, J. Senf, E. Broszeit, K.-H. KloosVolume:
29
Year:
1998
Language:
german
Pages:
7
DOI:
10.1002/mawe.19980290903
File:
PDF, 939 KB
german, 1998