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Die Umwandlung von N-Methylpolyborosilazan in amorphes Siliciumborcarbonitrid
Martin Jansen, Matthias KroschelVolume:
626
Year:
2000
Pages:
5
DOI:
10.1002/1521-3749(200007)626:73.0.co;2-1
File:
PDF, 130 KB
2000