Helium-implanted silicon: A study of bubble precursors
Corni, F., Calzolari, G., Frabboni, S., Nobili, C., Ottaviani, G., Tonini, R., Cerofolini, G. F., Leone, D., Servidori, M., Brusa, R. S., Karwasz, G. P., Tiengo, N., Zecca, A.Volume:
85
Year:
1999
Language:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.369335
File:
PDF, 385 KB
english, 1999