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Analyse du plasma ge´ne´rateur de couches minces d'oxydes de cuivre par pulve´risation cathodique re´active
M. Samirant, G. PernyVolume:
8
Year:
1971
Pages:
14
DOI:
10.1016/0040-6090(71)90105-2
File:
PDF, 611 KB
1971