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Plasmapolymerisation in strömenden Argon/p-Xylol-Glimmentladungen. Teil. 3. Untersuchungen des Schichtwachstums und der Schichteigenschaften
H. Wittrich, L. Weixelbaum, L. RothVolume:
30
Year:
1979
Language:
german
Pages:
6
DOI:
10.1002/actp.1979.010301102
File:
PDF, 663 KB
german, 1979