Atomic and molecular layer deposition for surface modification
Vähä-Nissi, Mika, Sievänen, Jenni, Salo, Erkki, Heikkilä, Pirjo, Kenttä, Eija, Johansson, Leena-Sisko, Koskinen, Jorma T., Harlin, AliVolume:
214
Language:
english
Journal:
Journal of Solid State Chemistry
DOI:
10.1016/j.jssc.2013.11.040
Date:
June, 2014
File:
PDF, 1.19 MB
english, 2014