Excimer pulsed laser deposition and annealing of YSZ nanometric films on Si substrates
A.P. Caricato, G. Barucca, A. Di Cristoforo, G. Leggieri, A. Luches, G. Majni, M. Martino, P. MengucciVolume:
248
Year:
2005
Language:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.apsusc.2005.03.048
File:
PDF, 126 KB
english, 2005