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Plasmabehandlung und Plasma-CVD-Beschichtung bei Atmosphärendruck
Thomas Stegmaier,Prof. Dr. Winfried BlauVolume:
45
Language:
german
Journal:
JOT Journal für Oberflächentechnik
DOI:
10.1007/BF03241267
Date:
January, 2005
File:
PDF, 49 KB
german, 2005