Long-term stability of single-crystal silicon microresonators
M. Koskenvuori, T. Mattila, A. Häärä, J. Kiihamäki, I. Tittonen, A. Oja, H. SeppäVolume:
115
Year:
2004
Language:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.sna.2004.03.013
File:
PDF, 318 KB
english, 2004