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Sub-nm-Topographiemessung mit hochgenauen Autokollimatoren (Sub-nm Topography Measurement using High-accuracy Autocollimators)
Geckeler, R. D., Just, A., Probst, R., Weingärtner, I.Volume:
69
Language:
german
Journal:
tm Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.2002.69.12.535
Date:
January, 2002
File:
PDF, 289 KB
german, 2002