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Untersuchung der Grenzfläche zwischen a-SiC:H-Schichten und TiA15Fe2,5-Substraten mit Hilfe der Auger Elektronen Spektroskopie
Bieberle, T., Amon, M., Bolz, A., Schaldach, M.Volume:
39
Year:
1994
Language:
german
Journal:
Biomedizinische Technik/Biomedical Engineering
DOI:
10.1515/bmte.1994.39.s1.316
File:
PDF, 506 KB
german, 1994