Atomkraft-Mikroskopie zur Vermessung von mikrooptischen Komponenten
Haselbeck, Stefan, Schwider, JohannesVolume:
63
Language:
german
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.1996.63.jg.191
Date:
January, 1996
File:
PDF, 919 KB
german, 1996