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Kombination von Laser-Scanning- Mikroskopie und optischer Fluoreszenzspektroskopie zur lokalen Spannungsmessung in dünnen Aluminiumoxidschichten
Hollatz, Mark, Bobeth, Manfred, Pompe, Wolfgang, Nasse, Hubert, Faltermeier, Bernd, Jörgens, ReinhardVolume:
63
Language:
german
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.1996.63.jg.142
Date:
January, 1996
File:
PDF, 2.14 MB
german, 1996