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PSpice-Modellierung eines CMOS-kompatiblen mechanischen Spannungssensors, basierend auf der Anisotropie des piezoresistiven Effekts (PSpice-Model for a CMOS-Compatible Stress Sensor Based on the Anisotropy of the Piezoresistive Effect)
Sutor, A., Lerch, R.Volume:
68
Journal:
tm Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.2001.68.5.234
Date:
January, 2001
File:
PDF, 236 KB
2001