Plasma ion source with hollow cathode
A. Latuszyński, A. Droździel, K. Pyszniak, J. Dupak, D. Mączka, J. MeldizonVolume:
70
Year:
2003
Language:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0042-207x(02)00686-3
File:
PDF, 173 KB
english, 2003