Trends bei der Entwicklung von Normalen für die Mikro- und Nanomesstechnik: Herausforderungen und Lösungsansätze (Trends in Development of Standards for Micro- and Nanometrology: Chances and Challenges)
Weckenmann, Albert, Wiedenhöfer, Thomas, Büttgenbach, Stephanus, Krah, Thomas, Fleischer, Jürgen, Buchholz, Ivesa, Viering, Benjamin, Kranzmann, Axel, Ritter, Martin, Krüger-Sehm, Rolf, Bakucz, Peter,Volume:
75
Language:
german
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.2008.0871
Date:
January, 2008
File:
PDF, 318 KB
german, 2008