![](/img/cover-not-exists.png)
Uncertainty Consideration of the Coordinate System in Nanopositioning- and Nanomeasuring MachinesUnsicherheitsüberlegungen zum Koordinatensystem in Nano-Positionier- und Messmaschinen
Füßl, Roland, Grünwald, Rainer, Rahneberg, Ilko, Kreutzer, PhilippVolume:
76
Language:
english
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.2009.0961
Date:
January, 2009
File:
PDF, 327 KB
english, 2009