Konfokale Laserscan-Mikroskopie zur optischen Vermessung der Mikrotopographie von Oberflächen und Schichten
Kapitza, Hans-GeorgVolume:
63
Language:
german
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.1996.63.jg.136
Date:
January, 1996
File:
PDF, 1.96 MB
german, 1996