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Gewachsene Siliziumstrukturen zum Kalibrieren von Messgeräten im nm-Bereich
Dietzsch, Michael, Gröger, SophieVolume:
78
Language:
german
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.2011.0123
Date:
January, 2011
File:
PDF, 492 KB
german, 2011