Dynamik von MEMS-Bausteinen berührungslos charakterisieren (Non-contact Characterization of MEMS Dynamics)
Dräbenstedt, Alexander, Heimes, Frank, Hettwer, Dirk, Rembe, Christian, Steger, Heinrich, Wörtge, MichaelVolume:
72
Language:
german
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.2005.72.11.601
Date:
January, 2005
File:
PDF, 523 KB
german, 2005