Silicon resonant microcantilevers for absolute pressure measurement
S. Bianco, M. Cocuzza, S. Ferrero, E. Giuri, G. Piacenza, C. F. Pirri, A. Ricci, L. Scaltrito, D. Bich, A. Merialdo, P. Schina, R. CorrealeYear:
2006
Language:
english
DOI:
10.1116/1.2214698
File:
PDF, 543 KB
english, 2006