Simultaneous and Accurate Formation of Variously Shaped...

Japanese Journal of Applied Physics 1997 / 5 Vol. 36; Iss. Part 2, No

Simultaneous and Accurate Formation of Variously Shaped Holes in Silicon Substrate

Lee, Hi-Deok, Kim, Jae-Kwan, Han, Chul-Hi
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Volume:
36
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.36.L529
Date:
May, 1997
Fichier:
PDF, 2.12 MB
english, 1997
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