SPIE Proceedings [SPIE SPIE Scanning Microscopy - Monterey, CA (Monday 4 May 2009)] Scanning Microscopy 2009 - The role of oxygen in secondary electron contrast of doped semiconductors in LVSEM
El Gomati, M. M., Postek, Michael T., Newbury, Dale E., Zaggout, F. N., Walker, C. G. H., Platek, S. Frank, Joy, David C., Zha, X.Том:
7378
Рік:
2009
Мова:
english
DOI:
10.1117/12.821810
Файл:
PDF, 735 KB
english, 2009