![](/img/cover-not-exists.png)
Replication of sub-micron features using amorphous thermoplastics
Kari mönkkönen, Tuula T. Pakkanen, Joni Hietala, Esko J. Pääkkönen, Pertti Pääkkönen, Timo Jääskeläinen, Terho KaikurantaVolume:
42
Year:
2002
Language:
english
Pages:
9
DOI:
10.1002/pen.11055
File:
PDF, 2.24 MB
english, 2002