Entwicklung eines Ionisationsmanometers mit Feldemitterkathode
Lotz, Marcel, Wilfert, Stefan, Kester, OliverVolume:
27
Language:
german
Journal:
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI:
10.1002/vipr.201500585
Date:
August, 2015
File:
PDF, 784 KB
german, 2015