Plasmaunterstützte Herstellung von Tantal- und Molybdännitriden
Alexei Yu. Ganin, Lorenz Kienle, Grigori V. VajenineVolume:
630
Year:
2004
Language:
german
Pages:
1
DOI:
10.1002/zaac.200470063
File:
PDF, 40 KB
german, 2004