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Ein kompakter Tastschnittsensor als Teil eines Multi-Sensor-Systems für Nanomessmaschinen
Hofmann, Norbert, Mastylo, Rostyslav, Manske, Eberhard, Theska, RenéVolume:
82
Language:
english
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1515/teme-2015-0015
Date:
January, 2015
File:
PDF, 267 KB
english, 2015