Microstructure of Al/Ti Metallization Layers
Hofmann, Matthias, Gemming, Thomas, Menzel, Siegfried, Wetzig, KlausVolume:
94
Language:
english
Journal:
Zeitschrift für Metallkunde
DOI:
10.3139/146.030317
Date:
March, 2003
File:
PDF, 489 KB
english, 2003