ChemInform Abstract: THERMISCHE DIFFUSION VON SILICIUMTETRAFLUORID UND SILAN
ANDO, YASUMASA, TOKUDA, TANEKIVolume:
4
Journal:
Chemischer Informationsdienst
DOI:
10.1002/chin.197317052
Date:
April, 1973
File:
PDF, 145 KB
1973