Deposição de filmes finos de nitreto de titânio em plasma...

Matéria (Rio de Janeiro) 2017 / 08 Vol. 22; Iss. 3

Deposição de filmes finos de nitreto de titânio em plasma com efeito de comprimento de catodo oco em gaiola catódica

Silva, Sandro Santos da, Bottoni, Cintia de Laet Ravani, Gontijo, Leonardo Cabral, Ferreira, Sukarno Olavo
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Volume:
22
Journal:
Matéria (Rio de Janeiro)
DOI:
10.1590/S1517-707620170003.0191
Date:
August, 2017
File:
PDF, 651 KB
2017
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