Photonometers for coating and sputtering machines
Oupický, P., Jareš, D., Václavík, J., Vápenka, D., Šulc, Miroslav, Kopecký, Václav, Lédl, Vít, Melich, Radek, Škereň, MarekVolume:
48
Year:
2013
Language:
english
Journal:
EPJ Web of Conferences
DOI:
10.1051/epjconf/20134800018
File:
PDF, 1.68 MB
english, 2013