Methoden und Sensoren zur Überwachung von Handhabungs- und Fügeprozessen in der Mikrosystemtechnik (Methods and Sensors for the Control of Handling and Assembly Processes in Microtechnology)
Driessen, Sascha, Engelmann, BastianVolume:
71
Language:
german
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.71.7.404.36696
Date:
August, 2004
File:
PDF, 1.11 MB
german, 2004