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Measurement of ellipsometric data and surface orientations by modulated circular polarized light / Messung von ellipsometrischen Daten und Oberflächenorientierungen durch moduliertes zirkular polarisiertes Licht
Chen, Chia-Wei, Hartrumpf, Matthias, Längle, Thomas, Beyerer, JürgenVolume:
86
Language:
english
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1515/teme-2019-0047
Date:
September, 2019
File:
PDF, 518 KB
english, 2019