Rauheitsauswertung mit hoher lateraler Auflösung mittels räumlicher Lichtmodulatoren / Roughness evaluation with high lateral resolution by spatial light modulators
Pöller, Franziska, Bilgeri, Laura Maria, Jakobi, Martin, Wang, Shengjia, Dong, Jie, Koch, Alexander W., Salazar Bloise, FélixVolume:
86
Language:
german
Journal:
tm - Technisches Messen
DOI:
10.1515/teme-2019-0042
Date:
September, 2019
File:
PDF, 2.15 MB
german, 2019