Dual-Probe Atomic Force Microscopy based on tuning fork...

Ultramicroscopy 2020 / 12 Vol. 219

Dual-Probe Atomic Force Microscopy based on tuning fork probes for critical dimension metrology

Zheng, Zhiyue, Gao, Sitian, Li, Wei, Liu, Xiaojun, Shi, Yushu, Chen, Cheng
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Volume:
219
Journal:
Ultramicroscopy
DOI:
10.1016/j.ultramic.2020.113120
Date:
December, 2020
Fichier:
PDF, 2.14 MB
2020
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