Silicidbildung in dünnen molybdän- und wolframschichten auf einkristallinen siliziumsubstraten bei relativ niedrigen temperaturen
B. Oertel, R. SperlingVolume:
37
Year:
1976
Language:
german
Pages:
10
DOI:
10.1016/0040-6090(76)90182-6
File:
PDF, 507 KB
german, 1976